杭州某半导集成块行成厂，晶圆加工生产的过程 中行成含硅、氟的特俗污水操作工艺，构思操作总量1200吨/日。污水操作工艺组成错综复杂，含有nm级硅颗粒物及盐酸，传统的操作方案无从不合格。 焦化废水成分表及起源 最主要水污染源 ：溶液硅（100-500nm粒度分布）、氟正离子（200-300mg/L）、异丙醇 来历流程 ：晶圆刻蚀工业废水处理工艺（45%）、CMP化学上的机械化打蜡 工业废水处理工艺（40%）、装置清扫冲洗水（15%） 办理方法操作流程 技術创新利用"物理凝固+特类膜溶合"技術途径： 钙盐积累 ：加药氯化钙避开氟正离子（转为CaF2滤渣） 二沉池症状 ：符合水解酸化池剂达成橡胶胶体部分硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm钻孔大小膜挪作他用微细颗料 ro反渗透性和系統 ：脱盐率>98%，回收利用率75% 蒸发掉晶粒 ：浓水段保证 氟化物零排污 终极功能 氟化物有机废气浓度：<8mg/L（不超祖国1阶段标准规定10mg/L） 硅浓度：<5mg/L 水能源循环率：70%用以冷却水塔塔保湿 危险废弃物减量化：挥发残余物量较传统艺术技艺极大减少60%