某半导体技术外理器研制厂在晶圆工作环节中，实用硅烷采取硅外加会产生，烟气洗衣塔会产生高氧浓度含硅废渣。废渣具pH变化大（2-11）、硅含磷量高的结构特征，传统型外理方式 易发现硅垢阻塞疑问。 焦化废水化学物质及来自 废水处理一般材料为： 溶于性硅酸盐 ：SiO₂氧化还原电位达1000-1500mg/L 硝酸钠/氢腐蚀钠 ：洗衣塔酸碱度洗衣液残余物 粒子硅 ：微米级SiO₂固体 痕量砷 ：原辅料不溶物带去 治理工艺设备流程图 什么是创新使用"多级与+膜活性炭过滤+汽化结晶体"加工制作工艺 ： 三级与 ：用CaO调结pH至4-5，产生硅酸钙积累，硅清除率60%。 2级中合 ：加Na₂CO₃将pH提拔至9，进步凝固多余硅，串连用镁剂除砷。 反渗透膜整体 ：0.02μm陶瓷厂家膜进行过滤納米级硅颗粒物，通量安全在80LMH。 MVR多效冷却器 ：浓缩液高盐废污水，成果出Na₂SO₄副物品，水循环率超90%。 之后视觉效果 总硅从1500mg/L降为5mg/L下例 砷分子量从0.8mg/L降落到0.01mg/L 程序无积垢电脑运行突破2年 每月的回收利用氢氧化钠钠氯化钠晶体约800吨