该厂为8厘米晶圆生育线模块化的超去离子水整体,一天到晚会产生含硅废水治理150吨。废水治理中虽无天价属,但硅分子量高易结渣,且电阻值率需提升18MΩ·cm可以使用。应有治理工学艺时未满意新公布的《电子器材化工业水环境破坏物废气废气废气排放标准规定》(GB39731-2020)相当废气废气排放限制值。
化工废水有效成分优势
主要是生态破坏物
:氢氧化铁硅(200-300mg/L)、粒子硅(粒级0.1-1μm)
特定规定要求
:TOC<10μg/L,硼含量<5μg/L
水质量基本特性
:低水的电导率(<50μS/cm)但硅有机物基本特征繁多
除理步奏步奏
特色化主要采用"梯级膜隔离+电去阳离子"搭配鑫霖环保:
微滤预净化处理
:1μm瓷砖膜拦阻大颗粒物硅,通量确保80LMH
铁离子更换硅橡胶
:D201大孔硅橡胶挑选性吸附性硅酸团伙
特殊RO系統
:一是段收旧率60%,第二步段运用高脱硼膜电气元件
EDI电去阳离子
:电流值容重2A/m²,保持除掉残留物阴离子
紫外线消毒
:254nm分光光度计线服用量40mJ/cm²
技巧闪光点
的开发专门阻硅剂(生产胺类混合物),延长时间膜弄脏阶段3倍
EDI输出模块什么是创新流道的设计,硅洗去率提高了至99.8%
在线免费硅分析一下仪(在线测量範圍0.1-500μg/L)推动脱贫的控制
开机运行成效明显
经再次方加测:
总硅从280mg/L减至0.05mg/L
硼含磷量从8μg/L降到0.3μg/L
装置再利用率从原40%发展至68%
膜更改周期怎么算变长至5年,年工作生产成本降低了35%